超深冷热处理加工是一种将材料冷却到极低温度（通常低于 - 130℃）的处理工艺，在提高材料性能等方面有重要作用，对质量精度有诸多严格需求，主要体现在以下几个方面：
温度控制精度
降温速率精准：超深冷处理过程中，降温速率对材料内部微观结构转变有重要影响。不同材料和工件对降温速率要求不同，如高速钢刀具，过快或过慢的降温速率可能导致马氏体转变不充分或产生过大热应力，影响刀具硬度和韧性，一般需将降温速率控制在特定范围内，如每分钟 1℃-5℃。
低温保持稳定：在超深冷处理的低温阶段，需保持温度的高度稳定。以航空发动机叶片为例，若温度波动过大，会使叶片内部组织转变不均匀，降低叶片的抗疲劳性能和使用寿命，通常要求温度波动控制在 ±2℃以内。
升温过程可控：升温阶段同样要精确控制，缓慢且均匀的升温有助于消除材料内部因深冷产生的残余应力，若升温过快，可能产生新的应力甚至导致材料开裂，升温速率一般控制在每分钟 2℃-10℃。
时间控制精度
冷却时间精确：冷却时间是超深冷处理的关键参数，直接影响材料性能。对于模具钢材料，冷却时间过短，奥氏体不能充分转变为马氏体，会降低模具的硬度和耐磨性；冷却时间过长，则可能导致材料脆化，一般冷却时间需根据材料成分和工件尺寸精确确定，从几小时到几十小时不等，如对于一些大型模具，冷却时间可能需要 48 小时 - 72 小时。
保温时间准确：在超低温下的保温时间也至关重要。以硬质合金刀具为例，合适的保温时间能使合金中的碳化物充分细化和均匀分布，提高刀具的切削性能，保温时间误差一般不能超过规定时间的 ±10%。
工件尺寸和形状精度
尺寸精度保障：超深冷处理可能会引起工件尺寸的微小变化，对于精密零件，如精密轴承、光学镜片等，尺寸变化必须控制在严格范围内。一般来说，轴承的直径变化需控制在 ±0.01mm 以内，以确保其与其他部件的配合精度，保证设备的正常运行。
形状精度保持：对于复杂形状的工件，如涡轮叶片、航空叶轮等，要确保超深冷处理后形状精度不变。处理过程中不均匀的冷却或热应力可能导致工件变形，通常要求叶片型面的形状误差控制在 ±0.05mm 以内，以保证其空气动力学性能。
设备及工艺系统精度
制冷设备可靠：超深冷处理设备的制冷能力和稳定性直接影响处理效果。制冷系统的温度控制精度要达到 ±1℃，制冷量需根据工件尺寸和处理量精确匹配，以保证能快速将工件冷却到所需低温，并维持稳定的低温环境。
温度监测精确：温度传感器的精度和可靠性至关重要，其测量误差应控制在 ±0.5℃以内，且要能实时准确地反映工件的实际温度，以便操作人员及时调整工艺参数。
工装夹具精密：工装夹具用于固定和支撑工件，其精度影响工件在处理过程中的均匀冷却和受力情况。工装夹具的定位精度要达到 ±0.05mm，以确保工件在超深冷处理过程中的位置准确，避免因局部过热或过冷导致质量问题。
