真空热处理是真空技术与热处理技术相结合的新型热处理技术，真空热处理所处的真空环境指的是低于一个大气压的气氛环境，包括低真空、中等真空、高真空和超高真空。

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真空热处理实际也属于气氛控制热处理，它是指热处理工艺的全部和部分在真空状态下进行的，热处理质量大大提高。
与常规热处理相比，真空热处理的同时，可实现无氧化、无脱碳、无渗碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脱脂除气等作用，从而达到表面光亮净化的效果。
真空热处理过程中，控制加热温度的方法主要有以下两种：
设定温度和加热速率：在真空热处理设备中，需要先设定所需温度和加热速率。这些参数通常基于材料的类型和所需要的性能进行选择。通常，加热速率在5摄氏度/分钟到20摄氏度/分钟之间。
实时监测温度：炉内应该有一个精确的温度传感器，可以实时监测温度并将数据反馈给控制系统。该控制系统根据设定值和实际温度值之间的差异进行自动调整，以确保温度持续稳定。