模具钢材真空热处理加热与预热温度。真空热处理的加热温度为1000--1100ºC时，应在800ºC左右进行一次预热。加热温度高于1200ºC时，形状简单，小型的零件，在850ºC进行一次预热：较大的或形状复杂的零件，应进行两次预热。第一次500-600ºC：第二次850ºC左右。
模具钢材真空热处理并减少模具的变形及开裂的倾向，使模具在热处理后具有较高的机械性能及耐磨性.若退火时加热不足，在久热组织中为细小片状珠光体分散在细粒状珠光体基体中;若在退火时加热，在粗大球状珠光体的基体上存在着粗片珠光体，大量粗片状珠光体的存在将使硬度提高，切削加工性能变坏，还将使模具在淬火时变形和开裂的倾向增大。
保温时间。由于真空加热主要靠辐射，而低温时辐射加热较慢，故平均加热速度比油对流的炉子慢，加热时间相应要延长，一般认为真空加热时间为盐浴炉的6倍；空气炉加热时间的2倍。